Het Titanium Sputterend Doel van de Gr1gr2 Gr5 TiAl Legering voor PVD-Deklaag

Gr1 Gr2 Gr5 TiAl titaniumlegering Titanium Sputtering Target Voor PVD-coating

- Ik weet het niet.

1Het doelmateriaal.

Het doelmateriaal is het doelmateriaal dat wordt gebombardeerd door met hoge snelheid geladen deeltjes. Er zijn metalen, legeringen, oxiden, enz. Vervang verschillende doelmaterialen (zoals aluminium, koper,roestvrij staal, titanium, nikkeldoelen, enz.), kunt u verschillende filmsystemen krijgen (zoals superhard, slijtvast, corrosiebestendige legeringsfilm, enz.).

(1) Metaaldoelen: nikkeldoel, Ni, titaniumdoel, Ti, zinkdoel, Zn, chroomdoel, Cr, magnesiumdoel, Mg, niobiumdoel, Nb, tindoel, Sn, aluminiumdoel, Al, indiumdoel, In,ijzerdoel, Fe, zirconium aluminium doelwit, ZrAl, titanium aluminium doelwit, TiAl, zirconium doelwit, Zr, aluminium silicium doelwit, AlSi, silicium doelwit, Si, koper doelwit Cu, tantalum doelwit T, a,germaniumdoelwit, Ge, zilverdoel, Ag, kobaltdoel, Co, gouddoel, Au, gadoliniumdoel, Gd, lanthaandoel, La, yttriumdoel, Y, ceriumdoel, Ce, wolfraamdoel, w, roestvrij staaldoel,Nikkelchroomdoel, NiCr, hafniumdoel, Hf, molybdeendoel, Mo, ijzer-nikkeldoel, FeNi, wolfraamdoel, W, enz.

(2) Keramische doelwitten: ITO-doelwit, magnesiumoxide-doelwit, ijzeroxide-doelwit, siliciumnitride-doelwit, siliciumcarbide-doelwit, titaniumnitride-doelwit, chroom-oxide-doelwit, zink-oxide-doelwit,doelwit zinksulfide, siliciumdioxide doelwit, één siliciumoxide doelwit, cerium oxide doelwit, zirconiumdioxide doelwit, niobiumpentoxide doelwit, titaniumdioxide doelwit, zirconiumdioxide doelwit, hafniumdioxide doelwit,doelwit titaniumdiboride, zirconiumdiboride doelwit, wolfraam trioxide doelwit, aluminium-oxide doelwit, tantaaloxide doelwit, niobiumpentoxide doelwit, magnesiumfluoride doelwit, yttriumfluoride doelwit, zink selenide doelwit,aluminiumnitride-doel, siliciumnitride-doel, boornitride-doel, titaniumnitride-doel, siliciumcarbide-doel, lithiumniobate-doel, praseodymiumtitanaatdoel, bariumtitanaatdoel,Lanthaan titanaat doelwit, nikkeloxide-doel, spuitdoel, enz.

2De belangrijkste prestatievereisten van de doelstelling

(1) Reinheid

De zuiverheid is een van de belangrijkste prestatie-indicatoren van het doel, omdat de zuiverheid van het doel een grote invloed heeft op de prestaties van de film.de zuiverheidsvereisten van de doelmaterialen verschillen ookBijvoorbeeld, met de snelle ontwikkeling van de micro-elektronica-industrie is de grootte van siliciumwafers gegroeid van 6", 8" tot 12", en de bedradingsbreedte is verminderd van 0,5um tot 0,25um, 0,25mm tot 0,25mm.18um of zelfs 0.13um, de voorgaande doel zuiverheid van 99,995% kan voldoen aan de technische eisen van 0,35umIC, en de voorbereiding van 0,18um lijnen vereist 99,999% of zelfs 99,9999% voor de zuiverheid van het doel.

(2) Inhoud van onzuiverheden

Verontreinigingen in de vaste stof en zuurstof en waterdamp in de poriën zijn de belangrijkste bronnen van verontreiniging voor de afgezette film.Verschillende doelen hebben verschillende eisen voor verschillende onzuiverheidsgehaltenZo hebben bijvoorbeeld in de halfgeleiderindustrie gebruikte zuivere aluminium- en aluminiumlegeringsdoelen bijzondere eisen voor het gehalte aan alkalische metalen en radioactieve elementen.

(3) Dichtheid

Om de poriën in de vaste stoffen van het doel te verminderen en de prestaties van de gespotte film te verbeteren, moet het doel meestal een hogere dichtheid hebben.De dichtheid van het doel heeft niet alleen invloed op de sputtering snelheidHoe hoger de doeldichtheid, hoe beter de filmprestaties.het verhogen van de dichtheid en de sterkte van het doel maakt het doel beter bestand tegen de thermische spanning tijdens het sputterenDe dichtheid is ook een van de belangrijkste prestatie-indicatoren van het doel.

(4) Grootte van de korrels en verdeling van de korrels

Het doelmateriaal is meestal polycrystallin en de korrelgrootte kan van de orde van micronen tot millimeter zijn.de sputtering snelheid van het doel met fijne korrels is sneller dan die van het doel met ruwe korrels; de dikte van de film die wordt afgezet door het sputteren van het doel met een klein verschil in korrelgrootte (eenvormige verdeling) is meer gelijkmatig.

3Materiaal

(1)Zuiver titanium: GR1 GR2

(2) Titaniumlegering: Gr5 titanium, titanium aluminium TiAl, titanium nikkel TiNi, titanium chroom TiCr, titanium zirconium TiZr, koper titanium TiCu enz.

(3)Andere materialen: Zirkoniumsputterdoelen, chroomsputterdoelen, wolfraamsputterdoelen, kopersputterdoelen, enz.

4Doel.

Het wordt veel gebruikt in decoratieve coatings, slijtagebestendige coatings, CD's en VCD's in de elektronica-industrie, evenals diverse magnetische schijfcoatings.

Wolfsten-titanium (W-Ti) -films en op wolfraam-titanium (W-Ti) gebaseerde legeringsfilms zijn hoogtemperatuur-legeringsfilms met een reeks onvervangbare uitstekende eigenschappen.Wolfram heeft eigenschappen zoals een hoog smeltpuntW / Ti-legering heeft een lage weerstandscoëfficiënt, een goede thermische stabiliteit en oxidatiebestendigheid.Dergelijke verschillende apparaten vereisen metalen bedrading die een geleidende rol speeltHet draadloze metaal zelf is echter gemakkelijk te oxideren, reageert met de omgeving,en heeft een slechte hechting op de dielectrische laagHet is gemakkelijk te verspreiden in de substraatmaterialen van apparaten zoals Si en SiO2, en het zal metaal en Si bij een lagere temperatuur vormen.de prestaties van het apparaat sterk verlagenDe W-Ti-legering is gemakkelijk te gebruiken als verspreidingsbarrière voor bedrading vanwege de stabiele thermo­mechanische eigenschappen, de lage elektronenmobiliteit, de hoge corrosiebestendigheid en de chemische stabiliteit.Vooral geschikt voor gebruik in omgevingen met hoge stroom en hoge temperaturen .

Gedetailleerde afbeeldingen

Fabriek

Verpakking en levering:

Het doelmateriaal wordt met parel katoen ingepakt en in een houten doos geplaatst.en kan ook de invloed van externe goederen op het product voorkomen, en ervoor zorgen dat het product wordt geleverd na levering Integrity.

---1.De verpakking is verzegeld en in de kartonnen doos of de standaard plywooddoos gelegd.

- Twee.Met exclusieve maatwerk karton met klant logo, elke individuele verpakking, om kopers te helpen directe verkoop.

--- Aanvaarding van klantvereisten

Zorg ervoor dat elk pakket op maat voor u is gemaakt.Zorg ervoor dat de goederen niet beschadigd zijn.